型号

CMS-554M

CMS-564M

CMS-574M

CMS-584M

CMS-665M

CMS-685M

CMS-6105M

行程
（mm）

X

500

500

500

500

600

600

600

Y

500

600

700

800

600

800

1000

Z

00

500

500

500

仪器精度

空间精度　MPEE=（3.5+L/250) μm 单轴精度 MPEE1=（3.0+L/250) μm

结构形式

移动桥式

功率

50 W ( 不包括电脑)

分辩率

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

0.5μm

外形尺寸

1.0*1.1*2.2(m)

1.0*1.2*2.2(m)

1.0*1.3*2.2(m)

1.0*1.4*2.2(m)

1.14*1.1*2.4(m)

1.14*1.3*2.4(m)

1.14*1.5*2.4(m)

整机重量

700kg

770kg

840kg

910kg

900kg

1040kg

1180kg

大承重

200kg

200kg

200kg

200kg

500kg

500kg

500kg

包装外形尺寸

1.45*1.37*2.1(m)

1.45*1.47*2.1(m)

1.45*1.57*2.1(m)

1.45*1.67*2.1(m)

1.45*1.55*2.4(m)

1.35*1.75*2.4(m)

1.35*1.95*2.4(m)