ETALON TCM200测量显微镜
 产 品 说 明
    模块化结构设计 可根据需要进行光学长度测量或表面金相检验。高品质远心物镜，优化的照明系统。配备精密滚珠轴承工作台(150X100 250X150mm 两种量程)。增量式金属光栅尺组成的光电测量系统 计算机内核的数据处理单元 带RS232 数字输出 并有内部校准证书。
·  三坐标的非接触测量无测量力
·  测量分辨率0.5μm或0.00002in
·  小的允许误差保证了测量的高精度 如150mm 长度测量的允许误差仅为2.6μm
·  高承载力和宽大的测量空间 或检测较高的工件
·  放大倍率达1000倍的表面结构检验 光源照明充分
·  视频摄像系统可进一步进行图像分析
·  测量台可手动自同移动或通过丝杠精细微位移，从而实现在每个方向上的快速定位
·  带安装卡销的手镜可单手轻松转换
·  插入板带十字分划线和同心圆
·  带数字测量系统的测角装置
·  中心支撑与用于连接孔径光阑和干涉缝的插件用于检验圆柱直径
·  光纤照明避免了照明产生的热量
·  透射光，同轴反射光，斜射光和环型光照明呈现图象，有亮区/暗区，同时带或不带偏振肖或干涉对比DIC
·  的小巧计数装置适合2和3坐标
·  用于计算机单元的数据处理软件
主机及其配置:
订货号/Order Number 06839006 06839007 06839008 06839009
带双目镜的主机 √ √ √ √
35瓦透射冷光源 √ √ √ √
90瓦反射冷光源 √ √ √ √
测量范围为150X100毫米的工作台 √  √ 
测量范围为250X150毫米的工作台  √  √
可进行Z轴测量 √ √  
数据处理单元 QUADRA-CHECK 220   √ √
QUADRA-CHECK 230 √ √  
主机技术指标:
订货号 06839006 06839007 06839008 06839009
测量范围(mm) 150 X 100 250 X 150 150 X 100 250 X 150
轴向大允许误差 (1.8+0.005L) μm (2.5+0.01L) μm (1.8+0.005L) μm (2.5+0.01L) μm
主机重量 110kg 140kg 110kg 140kg
外型尺寸(mm) (宽X高X深）356 X 662 X 540