SMC高性能温控器(带变频器)@SMC排气洁净器

冷冻式温控器   HRZ
高性能温控器(带变频器)
	系列/ CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液 HRZ  -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷冻式 氟素化液 清水 去离子水(纯水) 乙二醇 水溶液 特长 在HRZ系列高性能的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了省能化。 兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。 适用于更新周期短的半导体器件，可以灵活地响应不断变化的工艺条件。 符合UL和SEMI标准、CE规格。

水冷却式温控器   HRW
高性能温控器(水冷却式)
	系列/ CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液 HRW  20～90℃ 2～30kW ±0.3℃ 水冷却式 氟素化液 清水 去离子水(纯水) 乙二醇 水溶液 特长 可以与工厂内循环用水直接进行热交换。 适用于无需冷冻设备调温的场合。 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能，多用于半导体工艺设备。 符合UL和SEMI标准、CE规格。 可选择带变频器类型。

帕耳帖式温控器  HEC
高精度温控器
	系列/ CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液 HEC  10～60℃ 230W ±0.01～ 0.03℃ 帕尔贴式 空冷却式 清水 600、1200W ±0.01～ 0.03℃ 帕尔贴式 水冷却式 清水 氟素化液 特长 用于高精度的温度控制。 用帕尔贴式元件可实现无氟里昂高精度温度控制。 结构简单，可靠性高。 小型、低震动，容易组装。 可用于宽泛的电源电压下。 符合UL标准、CE规格。

SMC高性能温控器(带变频器)@SMC排气洁净器

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