特点：

▆ 提供6项职能以满足各种需要：

1.白光共焦：白光共焦显微镜是利用共焦光学和白光的显微镜。HYBRID+ 可作为白光共焦显微镜进行全色高清晰度观测和高分辨率三维轮廓测量。

2.激光共焦：HYBRID+利用共焦光学和激光光源作为激光共焦显微镜。它使高放大率、高分辨率的观测和测量与扫描电子显微镜的性能相当。

3.差动干涉对比：共焦光学与差动干涉对比相结合，使得细地形的高对比度实时可视化。

4.垂直扫描白光干涉测量：该功能利用干涉测量技术对地形进行纳米尺度测量,并对晶圆片和薄膜进行广域波动测量。它使用双波束干涉物镜，以便能够在一毫米规模的大面积上对纳米尺度的地形进行高精度的剖面测量。

5.相移干涉测量：这个功能使用干涉测量来进行角度尺度地形测量。

6.光谱反射计薄膜厚度测量：这个功能使用反射计来测量厚度小于1微米的透明薄膜的厚度。

▆ 满足行业*的规格并实现高精度：

HYBRID+ 实现行业*的性能激光显微镜的各种观测和测量应用。

1.高速测量：HYBRID+实现行业*的高速帧速率(15赫兹)，在图像拼接、自动测量、自动缺陷检测和高速移动图像观测方面带来*的性能。

2.高精度测量：HYBRID+达到行业*的测量精度和重复性。

▆ 提供各种测量、分析和支持功能,以提高可用性

LM眼,混合测试分析软件 ⁺,提供各种功能,协助你顺利运作。

▆ 自动操作以提高效率

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