江崎供应日本RYOKOSHA激光显微镜LEXT OLS5000

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显微镜/观察装置

（1）     激光显微镜

激光显微镜/ 3D测量激光显微镜

奥林巴斯

激光显微镜LEXT OLS5000   

通过安装405nm激光器，它是一种能够在微小区域内进行高分辨率三维形状观察，测量和粗糙度测量的模型。

主要特点

对比视力

这是一种观察方法，其将光均匀地照射到样品并捕获透过样品或从样品反射的光。

这是常见的观察方法，其中样品透射或反射的差异在观察到的图像中提供对比度。

差分干扰

这是一种使用光的偏振和相干性来观察样品表面上通常看不到的微小台阶的观察方法。

通过使用棱镜将照明光分成两个横向偏移的光束来照射样品。当拍摄从样品直接反射的两条光线之间的差异时，产生明暗对比度，并且可以在三维中观察到微小步骤。

300毫米晶圆兼容

具有大行程平台的显微镜，可以对300 mm晶圆进行全面观察。透射照明的组合还可以支持17英寸FPD检测。

短波激光

通过使用波长比可见光短的紫激光观察，您可以获得比光学显微镜更高的分辨率。

粗糙度测量

测量一行样品表面的“线粗糙度测量”，可以测量整个表面的“表面粗糙度测量”。

类似于接触式表面粗糙度测量机和过滤器负载的校准和表面粗糙度参数提供与传统接触式表面粗糙度测量机兼容的数据。此外，利用非接触性能，可以测量难以接触的软样品和粘性样品的粗糙度。