超声波液体流量计

ULS - 300 S（传感器分离型)，ULF - 300（一体型）

IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微少領域の流量管理に

1mL/minからの微少流量測定

デジタル信号処理による微少流量高精度測定

センサ部分が流体に非接触構造

広いレンジアビリティー

μLF-300S(センサ分離型)

型式 μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch)

測定原理 音波伝播時間差方式

被測定液体 純水、各種薬液

* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください

適応流体温度範囲 15℃～80℃

* 60℃以上でご使用の場合は事前にご確認ください

流体圧力 0.5MPa 以下

流体動粘度 100mm^2/sec 以下

流量範囲 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)

0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I)

測定精度 ±0.5%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min 条件：室温, 定温の水)

±1ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min)

±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 条件：室温, 定温の水)

±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min)

繰返し性 ±0.2% (純粋, 液温±0.5℃, 30秒平均値)

電源 DC 24V ±10%

消費電力 3.6W以下

重量 変換器 240g, 検出部 70g

サイズ W x H x D (mm) 変換器 97 x 49 x 127

検出部 90 x 25 x 20 (チューブ含まず)

検出部

チューブ素材 PFA (フッ素樹脂)

チューブ径 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm

構造 IP65相当

付属ケーブル 5m, コネクタ接続

入出力部

デジタル入出力 4線式RS-422, 4線式RS-485

アナログ出力 4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下

積算パルス出力 1ch (オープンコレクタ)

アラーム出力 1ch (オープンコレクタ)

接点入力 1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア)

キー入力 4入力ボタン

μLF-300(一体型)

変換器

型式 μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch)

測定原理 音波伝播時間差方式

測定液体 水、水溶液、油類、各種薬液

* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください

適応流体温度範囲 10℃～60℃

* 60℃以上の場合は事前にご確認ください

環境温度範囲 温度：0℃～50℃(結露がないこと）

流量範囲 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I)

0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I)

測定精度 ±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min, 室温, 水の場合)

±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min)

±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min, 室温, 水の場合)

±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min)

繰返し性 ±0.2% (液温±0.5℃, 30秒平均値)

応答性 10 msec

構造 屋内仕様 (IP65相当)

電源 DC 5V ±10%

消費電力 1.5W以下

重量 350g (本体部のみ)

検出部

チューブ素材 PFA (フッ素樹脂)

チューブ径 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm

出力部

シリアルポート 4線式RS-422

通信プロトコル データビット 8bit 固定, 偶数パリティ固定, ストップビット 1bit 固定

ボーレート 38400 baud

シリアル出力データ内容 瞬時流量値、積算流量値、エラーコード