一、主要特点
基于电离电荷的采样技术
VWA.112-VC-VB系列真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我公司了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
二、技术参数
测量范围:1×10-5 ~1×10-1Pa
测量误差:1×10-4~1×10-1 Pa中误差<10%
测量分辨率:10-5Pa
漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿。
允许环温:0℃~55℃
空气湿度:<85%RH
电源:AC220±l0%
外型尺寸:455x330x250mm
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一、主要特点
基于电离电荷的采样技术
VWA.112-VC-VB系列真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我公司了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
二、技术参数
测量范围:1×10-5 ~1×10-1Pa
测量误差:1×10-4~1×10-1 Pa中误差<10%
测量分辨率:10-5Pa
漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿。
允许环温:0℃~55℃
空气湿度:<85%RH
电源:AC220±l0%
外型尺寸:455x330x250mm
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