原装进口ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® C-Seal 集成气体过滤器-仪器仪表交易网

原装进口ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® C-Seal 集成气体过滤器

Wafergard® SL 1.125“ C-Seal 集成气体过滤器
Wafergard® C-Seal 集成过滤器将*的过滤器与*小的集成设计相结合，显著减少气体面板的占地面积，并提供*工艺保护。
与 1.125“ C-Seal 集成接口兼容，可*限度地减少排放并提供*的耐腐蚀性
减小了内部体积，提高了二次侧的清洁度
洁净室制造和包装
可选择镍或不锈钢膜
应用Wafergard® SL 1.125“ C-Seal 集成气体过滤器应用燃气面板
高纯气体管线
高温应用
脉动应用
惰性气体、氢化物气体、CO2 用于气体的不锈钢过滤器，用于惰性和反应性气体的镍过滤器

产品规格

材料	Filter 部分：	NF 型 - 烧结镍 SF 型 - 烧结不锈钢
	外壳，底块：	316L 不锈钢（电解抛光，符合 SEMI F20 标准）®
入口/出口连接	Surface Line 1.125“ C 型密封
颗粒去除尺寸	> 0.0015 微米
内表面粗糙度	< 5 μin Ra
He 泄漏率	值：2 x 10-10 cc/秒	测试值：1 x 10-9 cc/秒
二级清洁度	粒子*	大于 0.01 μm 且小于或等于 0.03 pcs/L 的颗粒
	挥发物**	H2O、O2，THC 发射量低于检测限（由于室温下的 RGA 和 FID）
颗粒去除性能	NF 型 - 所有颗粒为 99.999999999 % 或更高（*容易通过的颗粒尺寸）
	SF 型 - 所有颗粒的 99.9999% 或更多（*容易通过的颗粒尺寸）
使用条款	常压	小于 1 MPa @ 20°C （适用于日本的高压气体安全法。如果您想使用过 1 MPa，请联系我们。 )
	*允许正/反向压差	1 MPa @ 23 °C
		NF Mini、NF Mini XL：0.8 MPa @ 23 °C
	*工作温度	惰性气体：400 °C
		腐蚀性和反应性气体：50 °C
* 颗粒清洁度（根据 SEMASPEC 测试方法）：颗粒脱落（#93021511A-STD） ** 挥发物清洁度（根据 SEMASPEC 测试方法）：THC （#90120396B-STD）、水分（#90120397B-STD）、氧气（#90120398B-STD）

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）

备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN

光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE

电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）

资料

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