北崎供应EBARA 荏原 EV-S20P 干式真空泵
北崎供应EBARA 荏原 EV-S20P 干式真空泵
的转子设计和怠速功能实现了世界*水平的节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
型 | 单位 | EV-S20 系列 | EV-S20P/N 系列 | EV-S30 系列 | EV-S30P 系列 | EV-S50 系列 | EV-S50P/N 系列 | EV-S100 系列 | EV-S100P/N | EV-S200 系列 | EV-S200P/N 系列 | |
抽速 | 升/分钟 | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
极限压力 | 帕 | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
连接直径 | 进气口 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | 西北 80 | 西北 100 | 西北 100 | |
排气口 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 40 | 西北 40 | ||
极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
冷却水 | 流量 | 升/分钟 | .0 | .0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | ||||
温度 | °C | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | |
注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | - | (2.4) | .4) | |||||||
电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | |
400V 型号 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | - | - | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | ||
电源容量 | 千伏安 | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
近似质量 | 公斤 | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 |
北崎供应EBARA 荏原 EV-S20干式真空泵
的转子设计和怠速功能实现了世界*水平的节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
型 | 单位 | EV-S20 系列 | EV-S20P/N 系列 | EV-S30 系列 | EV-S30P 系列 | EV-S50 系列 | EV-S50P/N 系列 | EV-S100 系列 | EV-S100P/N | EV-S200 系列 | EV-S200P/N 系列 | |
抽速 | 升/分钟 | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
极限压力 | 帕 | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
连接直径 | 进气口 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | 西北 80 | 西北 100 | 西北 100 | |
排气口 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 40 | 西北 40 | ||
极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
冷却水 | 流量 | 升/分钟 | .0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | |||||
温度 | °C | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | *多 30 个 | |
注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | - | 17~20 (2.4) | ||||||||
电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | 三相/200-220V,50/60Hz | |
400V 型号 | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | - | - | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | 三相/380-440V,50/60Hz | ||
电源容量 | 千伏安 | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
近似质量 | 公斤 | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 |
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