这款用于中等负载工艺的干式真空泵配备了荏原的节能技术，采用了模块化设计，针对自动化工厂的制造进行了优化，以进一步实现小型化和节能。
宽范围温度控制扩展了应用过程。 使用同一台机器覆盖多个过程的能力优化了备用机器库存，降低了维护和培训要求，并为未来的过程扩展提供了灵活性。 此外，每个过程的*温度控制提高了工艺阻力，延长组件更换周期有助于减少 TCoO。
适用应用示例：各种蚀刻、CVD、灰化、离子注入、外延生长等。