北崎供应EBARA 荏原 G6-E A1-A4 燃烧式废气处理
北崎供应EBARA 荏原 G6-E A1-A4 燃烧式废气处理
G6-E 型是一种燃烧式废气处理系统，适用于处理半导体制造过程中外延生长设备中使用的含有高流量氢气和氯气的废气。 紧凑的设计能够进行高达 200 L/min 的氢气处理，还支持同时处理氢气和氯气。 标配副产品去除功能，降低了维护成本和负载。
| 型 | 单位 | G6-E A1~A4 | G6-E P1~P4 |
| 加工方法 | 燃烧 + 湿式 | 燃烧 + 湿式 | |
| *进气量 | 升/分钟 | 400 | 400 |
| 燃料 | 城市燃气 | 丙烷气 | |
| 大小 | 宽 x 深 x 高 mm | 1,200×650×1,900 毫米 | 1,200×650×1,900 毫米 |
| H₂ *流速 | 升/分钟 | 200 | 200 |
| 可处理气体示例 |
工艺（仓库）气体 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。 一般 清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 蚀刻气体一般 为 HBr， Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
工艺（仓库）气体 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。 一般 清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 蚀刻气体一般 为 HBr， Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
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| 标准设备 | 大流量 H2 加工燃烧器 | 大流量 H2 加工燃烧器 | |
| 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | ||
| 选择 | 市政水和废水消耗减少装置 | 市政水和废水消耗减少装置 | |
| 粉体减排风机洗涤器 | 粉体减排风机洗涤器 | ||
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