原装进口EBARA 荏原 G6 A1-A4 燃烧式废气处理器
原装进口EBARA 荏原 G6 A1-A4 燃烧式废气处理器
G6 型是一种燃烧式废气处理系统，能够高效、大容量地处理制造过程中使用的各种气体。 它允许的进气量约为传统型号的 3 倍，还可以处理高发热的大流量氢气。 根据要处理的气体的类型和数量，通过按需（可变燃料供应量）运行功能降低了运行成本，并通过大容量副产品捕集器等副产品措施降低了高流量气体处理时的维护成本和负荷。 它非常适合用于半导体、液晶面板、太阳能电池和 LED 等电子元件的制造、化学和材料制造商以及各种实验室。
| 型 | 单位 | G6 A1~A4 | G6 P1~P4 |
| 加工方法 | 燃烧 + 湿式 | 燃烧 + 湿式 | |
| *进气量 | 升/分钟 | 1,200 x 1,900 x 2,300 | 1,200 x 1,900 x 2,300 |
| 燃料 | 城市燃气 | 丙烷气 | |
| 大小 | 宽 x 深 x 高 mm | 1,200 x 1,900 x 2,300 | 1,200 x 1,900 x 2,300 |
| 可处理气体示例 |
工艺（仓库）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。 一般 清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 一般 蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
工艺（仓库）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。 一般 清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 一般 蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
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| 标准设备 | 高流量 NF3 处理燃烧器 | 高流量 NF3 处理燃烧器 | |
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