原装进口 EBARA 荏原 G5-500 A1-A4 燃烧式废气处理器

原装进口 EBARA 荏原 G5-500 A1-A4 燃烧式废气处理器

规范

型	单位	G5-350 A1~A4/P1~P4	G5-500 A1~A4/P1~P4	G5-600 A1~A4/P1~P4	G5-1200 A1~A4/P1~P4
加工方法		燃烧 + 湿式	燃烧 + 湿式	燃烧 + 湿式	燃烧 + 湿式
*进气量	升/分钟	350	500	600	1200
燃料		城市燃气/丙烷气选择	城市燃气/丙烷气选择	城市燃气/丙烷气选择	城市燃气/丙烷气选择
大小	宽 x 深 x 高 mm	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 1,100 x 2,000	1,200 x 1,100 x 2,200
可处理气体示例		工艺（库）气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。	工艺（库）气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。	工艺（库）气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。	工艺（库）气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
标准设备		除粉 vernas 刮刀	除粉 vernas 刮刀	除粉 vernas 刮刀	除粉 vernas 刮刀
选择		市政水和废水消耗减少装置	市政水和废水消耗减少装置	市政水和废水消耗减少装置	市政水和废水消耗减少装置

产品介绍

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）