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原装进口 EBARA 荏原 G5-500 A1-A4 燃烧式废气处理器

发布时间:2025/03/13 09:54:01 发布厂商:北崎国际贸易(北京)有限公司 >> 进入该公司展台

原装进口 EBARA 荏原 G5-500 A1-A4 燃烧式废气处理器

原装进口 EBARA 荏原 G5-500 A1-A4 燃烧式废气处理器

原装进口 EBARA 荏原 G5-500 A1-A4 燃烧式废气处理器

G5 系列

可燃性气体和温室气体 (PFC) 气体的高效处理、燃烧式废气处理装置

燃烧废气处理系统
多种气体的批处理
PFC 气体的高效处理
副产品对策和粉末自动卸料功能
运行成本低
正常运行时间长
根据气体类型和体积按需运行
提高可维护性
提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL

规范

单位 G5-350 A1~A4/P1~P4 G5-500 A1~A4/P1~P4 G5-600 A1~A4/P1~P4 G5-1200 A1~A4/P1~P4
加工方法 燃烧 + 湿式 燃烧 + 湿式 燃烧 + 湿式 燃烧 + 湿式
*进气量 升/分钟 350 500 600 1200
燃料 城市燃气/丙烷气选择 城市燃气/丙烷气选择 城市燃气/丙烷气选择 城市燃气/丙烷气选择
大小 宽 x 深 x 高 mm 1,200 x 650 x 1,900 1,200 x 650 x 1,900 1,200 x 1,100 x 2,000 1,200 x 1,100 x 2,200
可处理气体示例 工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
标准设备 除粉 vernas 刮刀 除粉 vernas 刮刀 除粉 vernas 刮刀 除粉 vernas 刮刀
选择 市政水和废水消耗减少装置 市政水和废水消耗减少装置 市政水和废水消耗减少装置 市政水和废水消耗减少装置
产品介绍

G5 是一种燃烧式废气处理系统,能够高效处理制造过程中使用的各种气体。 可以一次处理多种气体,并且可以高效处理通常难以处理的 PFC 气体。 通过我们的副产品对策和根据要处理的气体类型和数量按需(可变燃料供应)作来降低运行成本。 它非常适合用于半导体、液晶面板、太阳能电池和 LED 等电子元件的制造、化学和材料制造商以及各种实验室。 还提供*流量为 1,200 L/min 的大流量型。


北崎8年,日本会社20年,专注领域如下:
仪器相关:
山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)
备件设备相关:
柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关:
岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制:
SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)

EBARA 荏原
G5-500 A1-A4
燃烧式废气处理器
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