原装进口EBARA 荏原 G-WS 湿式废气处理器

型号 G-WS

节省空间的湿式废气处理系统，非常适合以低成本处理水溶性气体

湿式废气处理系统

多种气体的批处理

副产品对策

长期维护间隔

运行成本低

初期成本低

提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL

产品介绍

这是一种可以低成本安装和运行的湿式废气处理系统。它不需要燃料，并且基于 EBARA 的副产品对策实现了长期维护周期，这些对策是在燃烧式废气处理设备中积累的 10 多年中培养的。有助于稳定运行，降低维护成本和人工。此外，维护空间仅在设备的前部。即使在有限的 sub-fab 空间内，也可以实现高度灵活的布局。
待处理气体：可在室温下处理的水溶性气体，如 NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF 和 HCl

规范

型		单位	G-WS1000 系列
*处理风量		升/分钟	1,000
连接的入口数量			4
外形尺寸		毫米	宽914×D736×H1,727
效用	水	升/分钟	1 - 10
	位移	升/分钟	1 - 10
	氮	升/分钟	15-50
	权力		1.8-3.5kW 三相 AC 200V （50/60Hz）
	排气管道（处理气体）		1.5
	排气管（外壳排气）	米3/分钟	1.3
主要可处理气体	Epi 系列		盐酸、DCS
	心血管疾病		氟化镁6、NH3、氯化钛4、氯化钝3、氟化硅3、硅化硅、F2
	蚀刻		BCl3、HCl、HF、HBr、SiF4、Br2、Cl2、F2*
	阿瑟		NH3
无法湿法处理的气体			H2、SiH4、PH3、GeH4、CH4、PFC（CF4、SF6、NF3）等。
*请在处理时与我们联系

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）

资料

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原装进口EBARA 荏原 G-WS 湿式废气处理器

型号 G-WS

节省空间的湿式废气处理系统，非常适合以低成本处理水溶性气体

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