F-REX 型是一种安装在洁净室上的 CMP 系统，可对晶圆表面进行化学和机械抛光。 它具有经过市场验证的高可靠性和*的工艺性能，可以以多种方式进行配置以满足所需的规格。 双模块化设计，工艺腔室之间没有相互污染。 即使一个模块停止，也可以自动切换到与另一个模块一起运行，并且在发生维护或故障时无需停止设备，从而实现高生产率。 此外，双模块系统可通过单个单元实现多流程处理。 我们不仅为大规模生产提供*设备配置，还为实验开发应用提供*设备配置。