北崎供应Mitutoyo三丰 UVS2-U404P1L-E 显微形状测量机
北崎供应Mitutoyo三丰 UVS2-U404P1L-E 显微形状测量机
主要特点
通过*小直径15um的触针，可以进行微细区域的接触测量。
通过*小1μN(UMAP103)的低测量力，即使是容易变形的工件也可以测量。
可以组合*多3种不同笔划直径的UMAP。拆装交换可以由客户自己进行。
通过一台机器实现了UMAP中的接触测量和图像方式的非接触测量。即使在目视困难的部分，也可以在图像模式下进行定位，然后通过UMAP进行瞄准测量。
采用高NA和低失真的高性能物镜和新光学系统，发挥出高边缘检测能力。
厂作为基准的长度测量系统采用线性膨胀系数(0±0.02)x10-6K的低膨胀玻璃轮廓，将因温度变化引起的轮廓的伸缩抑制到*小限度。
| 标志 | 紫外线 UVS2-H302P1L-E | 紫外线 UVS2-U404P1L-E |
|---|---|---|
コードNo. |
364-7 | 0 |
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
300 x 200 x 200 |
400 x 400 x 200 |
UMAP画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm) |
185 x 200 x 175 |
285 x 400 x 175 |
測定精度(E1XY軸)(um)
|
(1.7+3L/1000) |
(1.5+3L/1000) |
測定精度(µm)EUX/EUY,MPE |
(0.8+2L/1000) |
(0.35+1.3L/1000) |
測定精度(µm)EUXY,MPE
|
(1.4+3L/1000) |
(0.5+2L/1000) |
測定精度(µm)EUZ,MPE
|
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
観察装置 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 透過照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 リング照明 |
白色LED |
白色LED |
温度補正機能 |
自動温度補正 |
自動温度補正 |
使用空気圧(MPa) |
0.4 |
0.4 |
精度保証 温度変化(℃/H) |
0.5/1,1/24 |
0.5/1,1/24 |
測定物 *積載質量(kg) |
15 |
40 |
本体質量(設置台含む)(kg) |
365 |
2185 |
載物ガラス寸法(mm) |
399 x 271 |
493 x 551 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
930 × 866 × 1612 (突起部を除く) |
1736 × 1172 × 1910 mm (突起部を除く) |
本体質量(kg) |
280 |
2160 |
その他 |
撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ 測定精度 ストリーム（オプション）E1X, E1Y：（1.5+3 L/1000） μm 測定精度 ストリーム（オプション）E2XY：（2.0+4 L/1000） μm 精度保証光学条件：2.5倍対物レンズ（QV-HR2.5xまたはQV-SL2.5x）、および中倍チューブレンズ使用時 繰返し精度 UMAP101, 103, 107：σ≦0.1 μm 繰返し精度 UMAP110, 130：σ≦0.15 μm |
等価照明を使用した場合の有効測定範囲：360 x 400 x 200 mm 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ 測定精度 ストリーム（オプション）E1X, E1Y：（1.5+3 L/1000） μm 測定精度 ストリーム（オプション）E2XY：（2.0+4 L/1000） μm 精度保証光学条件：5倍対物レンズ（QV-5xまたはQV-HR5x）、および中倍チューブレンズ使用時 画面内繰り返し精度：3σ≦0.2 μm 繰返し精度 UMAP101, 103, 107：σ≦0.08 μm 繰返し精度 UMAP110, 130：σ≦0.12 μm 必要空気流量：300 L/min（ANR）使用空気圧力 |
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