使用氦气的泄漏测试方法

选择测试方法的示例

每种测试方法的特点

此外，还提供氦气混合器和氦气回收装置，以降低运行成本，因此请单独与我们联系。
我们将根据初始成本和运行成本提出建议。

真空法

测试方法	真空喷涂法	真空罩法
检漏精度	1E - 09 帕·米3/sec 或更高	1E - 09 帕·米3/sec 或更高
整体测量	×	○
泄漏位置	○	×
自动化	△	○
初期成本	○	△
运行成本	△	△
维护成本	△	△
受影响的产品	LDS3000

加压方式

测试 方法	真空 Bellger 法	轰炸方式	嗅探器	加压集成方式
泄漏检测 精度	1E-07帕米3 /sec 或更高	1E-09Pa・m3 /sec 或更高	1E-06帕米3 /sec 或更高	1E-05帕米3 /sec 或更高
整体测量	○	○	×	○
泄漏位置识别	×	×	○	×
自动化	○	○	△	○
初期 成本	×	○	○	△
运行 成本	×	△	×	×
维护成本	×	×	△	△
受影响的产品	LDS3000		P3000（XL） 系列	LDS3000AQ

测试方法详细信息

真空法

真空喷涂法

真空罩法

加压方式

嗅探器

真空钟罩法

加压集成方式

轰炸方式

泄漏测试设备 加压积分法

加压积分法电路配置

氦气检漏仪 LDS3000AQ 电路配置

氦气检测传感器原理

180° 磁场脱毛质谱仪

1. 进入LDS3000AQ的氦气通过涡轮分子泵的反向扩散现象到达分析管。
2. 到达分析仪的分子被细丝的电子转化为 + 离子，由于加速电压，它们沿 - 方向移动。
3. + 当离子通过磁场时，轨道根据气体的质量进行划分。
4. 只有带有 + 离子的氦气到达离子收集器，并被前置放大器放大为电流进行测量。

泄漏检测设备 真空钟罩法

真空钟罩式反应法电路配置

氦气检测器 LDS3000 电路配置

氦气检测原理

180° 磁场脱毛质谱仪

1. 进入LDS3000的氦气通过涡轮分子泵的反向扩散现象到达分析管。
2. 到达分析仪的分子被细丝的电子转化为 + 离子，由于加速电压，它们沿 - 方向移动。
3. + 当离子通过磁场时，轨道根据气体的质量进行划分。
4. 只有带有 + 离子的氦气到达离子收集器，并被前置放大器放大为电流进行测量。