HORIBA掘场IR-400在线气体监测仪北崎国际

HORIBA掘场IR-400在线气体监测仪北崎国际

在半导体制造的沉积过程中，随着微细加工的进步，为了提高生产率，在加工后始终保持腔室清洁非常重要。 IR-400 系列是用于薄膜沉积过程的腔室清洁终点检测监视器，可实时监控废气成分（SiF4、CF4）。 它优化了干洗终点检测，减少了清洁气体的使用和时间，并通过减少腔室损坏来延长部件的使用寿命。

 

• 双分量同时监控
• 高灵敏度
• 气室加热功能
• 模拟/数字通信
• 多显示器

 

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）

备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN

光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE

电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）