HORIBA掘场PD10掩模异物检查器北崎供应
HORIBA掘场PD10掩模异物检查器北崎供应
PD10 重新设计了整个平台，包括光学元件、载物台设计和核心软件。 该分析仪的高可用性和长期稳定性得到了保留，同时作的便利性也得到了极大的提高。 增强的自动化增强功能，例如具有可靠光学元件的“Scan”、具有新功能的“Review”以及与创新传感器相结合的“Analysis”，可实现智能工厂支持。
| 型 | PD10 | |
| 大小 | （宽） x （深） x （高） | 1,000 x 1,850 x 1,600 毫米 |
| 重量 | 约 950 公斤 | |
| 敏感性 | 阵列曲面 | 0.5 μm / 0.35 μm （0.1 μm： 用于掩模落料机）*¹ *² |
| 玻璃表面 | 5.0 μm（0.5 μm - ： 高灵敏度选项）*¹ *² | |
| Pellicle 表面 | 10.0 μm （0.5 μm - ： 高灵敏度选项）*¹ *² | |
| 光源 | 633 nm He-Ne 激光器或 488 nm 固定激光器 | |
| 标线大小 | 兼容 5 英寸 ~ 9 英寸 | |
| 箱式开关柜 | 兼容 SMIF POD 和其他情况 | |
| 测量时间 | 约 12 分钟（测量开始 ~ 数据显示、6 英寸 2 面检查） | |
| 面板表面处理 | SUS 面板 | |
| 设施环境 | 清洁 | 6 级 ISO 标准 |
| 温度 | 23 +/- 1°C | |
| 效用 | 权力 | AC200~240 V，2 kVA 50/60Hz |
| 真空源 | 压力：-80 kPa 或更低 | |
| 压缩空气 | 0.6 MPa ~ 0.7 MPa | |
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新功能/选项 |
标线边缘处理 | 是的 |
| 自动捕获 / 自动填充 | 是的 | |
| 数据浏览功能 | 是的 | |
| 减少假阳性 | 是的 | |
*1 PSL 颗粒等效灵敏度
*2 检测灵敏度因样品的类型和条件而异。 我们建议在购买前进行样品评估。
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