HORIBA堀场EC-5104 排气压力控制器北崎供应
HORIBA堀场EC-5104 排气压力控制器北崎供应
排气压力控制器
它是一个排气压力控制器，不断将腔室的内部压力控制到任意值。 高分辨率步进电机和结构的蝶阀实现了高速响应和高分辨率性能。
| 框架尺寸 | 西北 40 |
|---|---|
| 气体接触材料 | SUS-316L，氟橡胶 ® |
|
电导 率（真空范围） |
0.4 〜 80 升/秒 |
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100 mmH2O 时的出口流量（完全关闭） |
20 升/分钟
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| 框架尺寸 | 西北 50 |
|---|---|
| 气体接触材料 | SUS-316L，氟橡胶 ® |
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电导 率（真空范围） |
0.6 〜 200 升/秒 |
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100 mmH2O 时的出口流量（完全关闭） |
25 升/分钟 |
| 框架尺寸 |
25mm 特氟龙®配件 1 英寸特氟龙®配件 |
|---|---|
| 气体接触材料 | PTFE、PEEK、氟橡胶 ® |
|
电导 率（真空范围） |
0.4 〜 80 升/秒 |
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100 mmH2O 时的出口流量（完全关闭） |
3 升/分钟 |
北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
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