SMC高真空直通型阀XYA-40-M9NA-XF1A不锈钢制

精密铸件一体构造, 无气体聚积

可与铝制高真空L型阀XL系列(XM系列)互换安装

注)直接配管型无16尺寸

法兰尺寸 40 40,CF070

法兰种类 - KF(NW)

指示灯及操作通口方向 - 无指示灯,法兰对面

温度规格 - 5～60℃

磁性开关种类 M9N 无触点磁性开关, 直接出线式, 带指示灯, 3线式(NPN), 横引出, 导线长0.5m, 适用电压：DC5V,12V,24V(DC4.5~28V)

磁性开关个数/安装位置 A 数量:2个;检测位置:阀开闭

密封材质 XF1 密封材质:FKM;组合NO.:-

密封材质变更点及泄露量 A 变更点:阀密封(保养用备件),外部密封(保养用备件);泄漏量:内部:1.3x10^-8Pa·m3/s以下,外部:1.3x10^-9Pa·m3/s以下（密封件材质为F1时，泄漏量:内部:1.3x10^-10Pa·m3/s以下,外部:1.3x10^-11Pa·m3/s以下）

形式 N.C.

XLD 系列 铝制 高真空L型阀 两段控制·双作用/波纹管密封·O型圈密封

抗氟强

气体泄出少

重金属污染小

使用流体 惰性气体

*低使用圧力 [MPa] 1X10^-6 Pa

*使用圧力 [MPa] 大气压

声速流导C 45 L/s

内部泄漏量 1.3X10^-10 Pa·m^3/s

外部泄漏量 1.3X10^-11 Pa·m^3/s

本体材质 SCS13

波纹管材质 SUS316L

主要部分材质 SUS304 / FKM

先导压力范围 0.4～0.7 MPa

先导通口连接口径 Rc1/8

XT34-1-2196R XT34-1-2203R XT34-153 

XT34-155-1 XT34-155-2 XT34-156-X6 

XT34-212 XT34-2-3345B XT34-350-23

 XT34-4-63R XT34-5-23 XT34-550-16 

XT34-550-23 XT34-59-X1 XT34-60 

XT34-67 XT370-X62-1 XT477-3 

XT477-4 XT534-4-004 XT534-5-001-AS

 XT567-10 XT624-1-F8NL XT624-4 

XT661-10C-X321 XT661-2A-L 

SMC高真空直通型阀XYA-40-M9NA-XF1A不锈钢制