XP-703DⅢ

半导体材料气体检测

检测对象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

检测浓度

1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

应用行业

半导体制造

可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，

也可对氢气相关设备提供安全保障。

01.产品特点

·  小型·轻量

·  可以检查非常微量的气体泄漏

·  适合氢气相关设备的安全防护

·  搭载的泵有自动停止功能

·  搭载[自动气体排气模式]功能

·  保护等级约为IP22（JIS C  0920）※安装皮套时

02.产品用途

·  半导体工厂/石油化学工厂等

·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

03.产品参数

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：

仪器相关：

山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）

备件设备相关：

柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN

光源相关：

岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE

电气控制：

SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）