使用注意事项Edwards nEXT机械涡轮分子泵

涡轮分子泵是多级轴流式涡轮机，其中，高速旋转叶片通过增加气体沿泵送方向移动的可能性来提供压缩。涡轮分子泵针对分子流动条件进行了优化，需要适当尺寸的后备泵才能排放到大气中。   
nEXT涡轮分子泵建立在数十年的经验基础上，并取材自我们久经考验且值得信赖的EXT和STP系列。nEXT泵具有*的性能，可靠性和*终用户可维修性，为科学的涡轮分子泵树立了。
nEXT范围内的*性能
爱德华兹nEXT240涡轮分子泵放大
现有的泵尺寸可提供真正的85、240、300、400，我们现在为nEXT系列（N2）增加了每秒700和900升的泵速性能。
常规的涡轮分子泵转子设计成可提供高速或高压缩率。为了消除这种折衷，已对nEXT转子上的叶片布置进行了完全重新设计，以优化泵的性能并实现更高的速度和更高的压缩率。*终结果是其同等尺寸的泵具有*的泵送性能
工作原理：

罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。
靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。
罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。
它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分;抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。
罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。

主要特点
转速高、容积效率高。
结构简单，操作、维护方便。
转子被锁紧，无轴向串动现象。
采用高精度传动齿轮、SKF高精度轴承和良好的动平衡，确保产品的噪声低、运转平稳。
采用平衡式不锈钢机械密封，泵腔为无油结构，适用于抽除一般空气及各种特殊气体。
与其它机械真空泵比较，节能效果显著。
可与各类前级泵配套，可广泛应用于各类工艺范围。

1、Edwards爱德华EM 系列：（大型油封式真空泵）
E2M18，  E2M28，  E2M30， E2M40，  E2M80， E2M175、 E2M275
2、Edwards爱德华RV 系列： (小型油封式真空泵)：
RV3、 RV5、 RV8、 RV12
3、Edwards爱德华EV 系列： (单级旋片真空泵)
EV20、 EV40、 EV70、EV100、EV160、EV200、EV300、EV400、EV630
4、Edwards爱德华EH 系列： (罗茨真空泵)
EH250、EH500、EH1200， EH2600、EH4200
5、Edwards爱德华QMB 系列： (罗茨真空泵)
QMB-250、 QMB-500、QMB-1200
6、Edwards爱德华MB 系列： (罗茨真空泵)
MB 800、MB 1200， MB 2600、 MB 4200、MB 5700
7、Edwards爱德华HV 系列： (大型罗茨真空泵)
HV8000、HV14000、HV30000
8、Edwards爱德华XDS 系列： (涡卷干式真空泵)
XDS3、 XDS5、XDS10、XDS35、XDS46、XDS100
9、Edwards爱德华GV 系列： (大型工业干式真空泵--干式螺杆泵 )
GV80、 GV160、GV250、GV400、GV600
10、Edwards爱德华GXS 系列： (大型工业干式真空泵--干式螺杆泵 )
GXS160， GXS250、GXS160/1750、GXS250/2600、GXS450、GXS450/2600、GXS450/4200、
GXS750、GXS750/2600、GXS750/4200
11、Edwards爱德华QDP 系列： (半导体真空泵)：
QDP40、QDP80
12、Edwards爱德华IQDP 系列： (半导体真空泵)：
IQDP40、 IQDP80
13、Edwards爱德华IH 系列： (半导体真空泵)
IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800
14、Edwards爱德华IXH 系列： (半导体真空泵)
IXH100、IXH200、IXH200H， IXH500H， IXH500Q， IXH610、IXH645H， IXH1210， IXH1210H，IXH1220H。

使用注意事项Edwards nEXT机械涡轮分子泵