功率器件，传统半导体生产的*
兼容通用75mm~200mm晶圆
值得信赖的 在大规模生产线上得到验证
MAC系列销售记录过200台
MAC-R是源于理性量产策略的明智选择
通过掌握必要和足够的规格，在不影响可靠性的情况下实现格
*适配新安装通过
缩小目标产品范围
，我们实现了必要且足够的规格，与旧型号相比，实现了 1/2 的格。
由于消耗品很少，因此可以降低维护成本，并且可以大大降低运行成本。
非常适合更换 节省空间 占地面积低
1300mm × 1300mm 光栅 约 4 块光栅地板的节省空间设计。 除了在设计新线路时具有高度的自由度外，它与旧型号的尺寸相同，因此可以按原样替换现有线路。 由于无需因更换而重新设计或翻新线路，因此可以显着降低成本。
只需在原始空间中更换外围设备，即可安装而无需
移动外围设备。
*适用于任何生产线 各种晶圆兼容各种材料和尺寸
的
晶圆（小直径、化合物半导体）。 晶圆规格也可以在交货后更改。
兼容SiC、GaN、蓝宝石等
| 晶圆尺寸 | 2“3”4“5”6“8”（如果有2英寸的差异可以共享） |
|---|---|
| 晶圆的种类 | Si、SiC、GaN、GaAs、石英、蓝宝石 |
| 测量再现性 （3σ） | ≦ 7.0 nm *R 至 R ≦ 3.0 nm |
| TIS（平均） | ≦ ± 7.0 nm |
| 吞吐量 | 100 ppm/h 或更高 *在晶圆的 5 个点连续测量 |
| 设备尺寸 | 1300mm（宽）×1300mm（深）×1460mm（高） |
| 设备质量 | 800 千克 |
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京公网安备 11010802023672号
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