库号：D24818  

大流量气体质量流量控制器/流量计是一款高精

度、快速响应、高稳定性产品，本产品为热式气体质量流量流量控

制器/流量计，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成

上下游温差方法，从而测得气体的质量流量。其流量精度不受气体

压力、环境温度影响，由于上下游温差是实时反映气体瞬时流量，

所以特别适用于过程控制中的气体流量的测量和控制。

本产品可以测量和控制绝大多数干燥、干净的气体，可以应用在

量程范围从300Ln/min 到3000Ln/min 之间气体流量的测量和控制。



指标：

满量程范围（N2） 300...3000Ln/min

量程比控制器50:1 流量计100:1

精度±1.0%F.S

线性±0.5%F.S

重复性±0.2%F.S

响应时间1S-3S

工作压差0.3...0.7MPa

大耐压3MPa

工作环境温度5...45℃

泄漏率1×10-8Pa.m3/s

输入输出信号RS232/RS485 MODBUS 协议

供电方式24VDC

密封材料丁晴橡胶氟橡胶

接头尺寸12mm 1/2” 3/4” 法兰其他



产品应用：

真空镀膜设备

半导体工艺设备

化学与化工实验设备

食品科学与工程设备

能源与环境保护设备

各种分析仪器设备

表面处理

真空冶金及材料工艺

高校及科研所实验室设备

大流量气体质量流量控制器/流量计是一款高精

度、快速响应、高稳定性产品，本产品为热式气体质量流量流量控

制器/流量计，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成

上下游温差方法，从而测得气体的质量流量。其流量精度不受气体

压力、环境温度影响，由于上下游温差是实时反映气体瞬时流量，

所以特别适用于过程控制中的气体流量的测量和控制。

本产品可以测量和控制绝大多数干燥、干净的气体，可以应用在

量程范围从300Ln/min 到3000Ln/min 之间气体流量的测量和控制。



指标：

满量程范围（N2） 300...3000Ln/min

量程比控制器50:1 流量计100:1

精度±1.0%F.S

线性±0.5%F.S

重复性±0.2%F.S

响应时间1S-3S

工作压差0.3...0.7MPa

大耐压3MPa

工作环境温度5...45℃

泄漏率1×10-8Pa.m3/s

输入输出信号RS232/RS485 MODBUS 协议

供电方式24VDC

密封材料丁晴橡胶氟橡胶

接头尺寸12mm 1/2” 3/4” 法兰其他



产品应用：

真空镀膜设备

半导体工艺设备

化学与化工实验设备

食品科学与工程设备

能源与环境保护设备

各种分析仪器设备

表面处理

真空冶金及材料工艺

高校及科研所实验室设备

大流量气体质量流量控制器/流量计是一款高精

度、快速响应、高稳定性产品，本产品为热式气体质量流量流量控

制器/流量计，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成

上下游温差方法，从而测得气体的质量流量。其流量精度不受气体

压力、环境温度影响，由于上下游温差是实时反映气体瞬时流量，

所以特别适用于过程控制中的气体流量的测量和控制。

本产品可以测量和控制绝大多数干燥、干净的气体，可以应用在

量程范围从300Ln/min 到3000Ln/min 之间气体流量的测量和控制。



指标：

满量程范围（N2） 300...3000Ln/min

量程比控制器50:1 流量计100:1

精度±1.0%F.S

线性±0.5%F.S

重复性±0.2%F.S

响应时间1S-3S

工作压差0.3...0.7MPa

大耐压3MPa

工作环境温度5...45℃

泄漏率1×10-8Pa.m3/s

输入输出信号RS232/RS485 MODBUS 协议

供电方式24VDC

密封材料丁晴橡胶氟橡胶

接头尺寸12mm 1/2” 3/4” 法兰其他



产品应用：

真空镀膜设备

半导体工艺设备

化学与化工实验设备

食品科学与工程设备

能源与环境保护设备

各种分析仪器设备

表面处理

真空冶金及材料工艺

高校及科研所实验室设备