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原装CANON-ANELVA低温泵P-101CL

发布时间:2023/11/06 10:18:19 发布厂商:深圳京都玉崎电子有限公司 >> 进入该公司展台

POWER系列低温泵是一种高性能类型,具有减少再生/启动时间和高抽气能力,有助于提高真空设备的生产率和可用性,以及提高多操作期间的实际抽气性能和温度稳定性。是低温泵。

  1. 特征:

  2. 无需加热器即可实现安全高速播放

  3. POWER启动及稳定性(实用启动特性及温度稳定性)

  4. 低振动
    振动加速度的平均值约为传统产品的1/10以下(与本公司相比)。

  • 半导体制造设备(溅射设备、离子注入设备)

  • 电子元件制造设备

  • 真空沉积设备

  • 真空炉、空间室

  • 加速器

  • 各种高真空设备

泵型号名称P-080CP-081CP-081CLP-082CP-083CP-100CLP-101CP-101CL评论
口径8英寸8英寸8英寸8英寸8英寸10英寸10英寸10英寸
形状垂直的垂直的水平的垂直的垂直的水平的垂直的水平的
抽速
(L/S)
1,500 人1,500 人1,500 人1,500 人1,500 人2,4002,4002,400
氩气1,3001,3001,3001,3001,3002,0002,0002,000
1,0002,500 人2,2001,0001,0003,0003,8003,700
4,0004,0004,0004,0004,0006,4006,4006,400
*排气流量
(Pa・m 3 /s)
.01.01.0
*气体瞬时容许量
(Pa・m3
8.018.018.018.0
启动时间(分钟)4550654550807080*1
再生(加热)时间(分钟)3030303035403545*1
启动播放时间(分钟)75+α80+α95+α75+α85+α120+α105+α125+α*1
排气能力
(Pa· m3
氩气80,00080,00080,000150,000190,000140,000160,000140,000*2
1,3001,8001,6001,3001,3001,3002,0001,800
达到温度(K)15 或更少
极限压力(Pa)10 -7单位
*加热温度(℃)70
环境温度范围(℃)10~35
建议维护时间(h)每 16,000 或更少
质量(公斤)2222222324二十五24二十五
可营运车辆数量
(辆)
P-421CA11111111*3
P-875CA33333333*3
泵型号名称P-120CP-120CLP-121CP-121CLP-122C评论
口径12寸12寸12寸12寸12寸
形状垂直的水平的垂直的水平的垂直的
抽速
(L/S)
4,0004,0004,0004,0004,000
氩气3,2003,2003,2003,2003,200
3,6003,0006,0005,0003,000
9,0009,0009,0009,0009,000
*排气流量
(Pa・m 3 /s)
1.01.01.01.01.0
*气体瞬时容许量
(Pa・m3
.018.0
启动时间(分钟)60907010060*1
再生(加热)时间(分钟)3540405030*1
启动播放时间(分钟)95+α130+α110+α150+α90+α*1
排气能力
(Pa· m3
氩气260,00020万260,00020万40万*2
1,6001,4002,4002,2001,600
达到温度(K)15 或更少
极限压力(Pa)10 -7单位
*加热温度(℃)70
环境温度范围(℃)10~35
建议维护时间(h)每 16,000 或更少
质量(公斤)2929293029
可营运车辆数量
(辆)
P-421CA11111*3
P-875CA33333*3

原装CANON-ANELVA低温泵P-101CL

日本CANON-ANELVA
POWER系列低温泵
进口
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