安徽宿州市灵璧县UV能量计校准第三方仪器测量机构
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这种批量生产（batch process）的过程目前已经全自动化控制，隔离了人为因素，确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制，从而提高了良品率。切片、封装之后，就成为了一个个的MEMS芯片。从外观上来看，大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。
图中，传统麦克风的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片上了，体积非常小，重量也非常轻。由于是芯片制造，一致性好、功耗低，更易于批量生产。但是对技术的要求那就非常高了。MEMS传感器的出现极大的满足了大家对产品小体积、高性能的要求。
每一种MEMS传感器又有很多种细分方法。如加速度计，按检测质量的运动方式划分，有角振动式和线振动式加速度计等，常见的MEMS传感器有压力传感器、加速度传感器、微机械陀螺仪、惯性传感器、MEMS硅麦克风等等;MEMS传感器的品种多到可以以万为单位，且不同MEMS之间参量较多，没有完全标准的工艺。
MEMS传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业，以其技术含量高、市场前景广阔等特点备受世界各国的关注。近十年来，MEMS传感器产业生态系统也正逐步完善，从研发、设计、代工、封测到应用，完整产业链已基本形成，*对MEMS传感器行业也给予了前所未有的政策支持。我国MEMS产业发展面临了重大的机遇，特别是移动互联网和物联网的快速发展，将对MEMS产业产生深远的影响，并将催生大量新的产品、新的应用，带动MEMS产品在日常生活及工业生产中的普及化。
我们伟大祖先的四大发明——指南针，可谓是无人不知啊，对于现代传感器技术来讲，它可算得上是磁传感器的鼻祖了。
而在当今的电子时代，磁传感器在电机、电力电子技术、汽车工业、工业自动控制、机器人、办公自动化、家用电器及各种安全系统等方面都有着广泛的应用。
磁传感器是一种把磁场、电流、应力应变、温度、光等外界因素引起的敏感元件磁性能变化转换成电信号，以这种方式来检测相应物理量的器件。用于感测速度、运动和方向，应用领域包括汽车、无线和消费电子、军事、能源、医疗和数据处理等。
霍尔传感器利用霍尔效应的原理制作，主要有霍尔线性传感器、霍尔开关和磁力计三种。
霍尔线性器件拥有很宽的磁场量测范围，并能识别磁极。其应用领域有电力机车、地下铁道、无轨电车、铁路等，还可用于变频器中用于监控电量、光伏直流柜监测光伏汇流箱实时输出电流的作用、电动机保护等。 线性霍尔传感器还可以用于测量位置和位移，霍尔传感器可用于液位探测、水流探测等。
是利用霍尔效应产生的电势差来测算外界磁场的大小和极性。磁力计是采用CMOS工艺的平面器件。工艺相对一般IC更为简单，一般采用P型衬底上N阱上形成传感器件，通过金属电极将传感器与其他电路（如放大器、调节处理器等）相连。
但这样设计的的霍尔传感器只能感知垂直于管芯表面的的磁场变化，因此增加了磁通集中器（magnetic flux concentrator），工艺上来讲就是做原来的管芯上增加一层坡莫合金，可探测平行于管芯方向的磁场。由此，霍尔传感器实现了从单轴到三轴磁力计的跨越式发展。
磁力计广泛应用于智能手机、平板电脑和导航设备等移动终端，拥有巨大的市场前景。同时，磁力计可以与加速度计组成6轴电子罗盘，三种惯性传感器（加上陀螺仪）组合在一起还能实现9轴组合传感器，构成更强大的惯性导航产品。
1857年，Thomson发现坡莫合金的的各向异性磁阻效应。对于有各向异性特性的强磁性金属, 磁阻的变化是与磁场和电流间夹角有关的。我们常见的这类金属有铁、钴、镍及其合金等。
当外部磁场与磁体内建磁场方向成零度角时, 电阻是不会随着外加磁场变化而发生改变的；但当外部磁场与磁体的内建磁场有一定角度的时候, 磁体内部磁化矢量会偏移，薄膜电阻降低, 我们对这种特性称为各向异性磁电阻效应（Anisotropic Magnetoresistive Sensor,简称AMR）。磁场作用效果下图。
力学对计量的依赖性非常强,它以力为基础,对各种自然现象进行解释因此它需要依靠计量提供准确数字,这样可以增强说服力。力学涉及到的内容较为广泛,其中主要有光速、压力、速度、温度等为了符合力学实验要求,现阶段的力学仪器类型也越来越多,例如拉力试验机、材料试验机等,力学仪器不仅在实验中常常被应用在人们日常生活中的应用也较为广泛。
一、力学计量概述
(一)流量计量。根据流体区,可对流量计量进行划分将其分为气流量计量、油流量计量、水流量计量三种类型流量测量介质不能互换,不过在计量方法上基本一致。现阶段流量计量发展主要表现为两种情况,分别为动态流量校准与介质流量计量、极端量值标准研发。
(二)压力计量。在工程施工技术测量中所谓压力也就是指强压在压力计量内,压力也同样指的是强压。压力计量的主要工作就是校准与鉴定压力模块、压力变送器、精密压力表、压力传感器等,同时还要负责检测与校准数字压力计。压力计量包含动态与静态两种类型,静态又分为砝码与对比;动态分为正弦压力法与激波管法。在静态中,活塞式压力计较多,它可分为液体式、气体式两种类型。动态压力对传感器的工作主要依靠正弦压力法与激波管法完成。目前随着计算机技术的不断进步与发展河将电子信息技术融入力学计量中,便于采集与处理被测数据减少人工操作提高计量的准确性。
(三)振动计量。振动描述通过速度、位移、频率、加速等完成振动测试的结果是否准确主要在于计量结果是否*。
在20世纪50年代初期,很多*得出了不同的振动校准结果。这表明仪器校准结果存在较大误差经过不断研究后校准误差逐渐降低主要原因在于仪器校准技术的持续发展与进步。
(四)质量计量。在SI中质量是力学计量的基本单位利用kg符号表示。在质量计量过程内,需利用天平对砝码质量进行测量质量计量水平可依据天平与砝码研究情况作出判断。质量计量会受到很多因素的影响,尤其环境对其的影响较大,空气对流会影响计量结果。另外磁化对计量结果的影响非常大因此,现阶段应该着重研究如何降低其他因素对质量计量的干扰。
二、力学计量仪器校准中的相关问题
(一)实现计量法的统一。从力学计量的实际情况上看计量并非人们平常所了解的一样。我们通常意义上认为的仪器计量只包括物理学,认为力学计量*注重的就是力学,然而事实并非如此。仪器计量关系到我们的生活,因此,必须要实现计量统一所谓计量统一,就是指计量法的统一。通过统一的计量法，可避免*或个人因计量标准未统一而引发矛盾因此为了提高力学仪器的有效率,首先必须实现统一化的计量标准。*与*间的计量标准存在差异,我国也有计量标准在使用自己*的计量标准时,也可以利用国际计量标。我国主要采用自己*的计量标准,不过在物理学、力学等方面采用国际统一标准,可以使我国的学术领域与国际接轨。只有建立统一的计量标准,才能提高计量*度，确保力学计量充分发挥作用。
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