MVME167-004A
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5G时代的到来，为MEMS提供了巨大的发展机遇。5G的三大应用场景对MEMS提出了海量需求：增强移动宽带（eMBB）主要面向移动互联网提供高的传输数据速率，为移动互联网用户提供更加*的应用体验，高清视频、3D立体视频、VR/AR等应用将进一步增长；高可靠低时延通信（uRLLC）主要面向车联网、工业控制、远程医疗等对时延和可靠性具有极高要求的垂直行业应用需求；海量机器类通信（mMTC）主要面向智慧城市、智能家居、环境监测等以传感和数据采集为目标的应用需求。
车联网（V2X）和自动驾驶领域也为MEMS传感器带来增量市场。5G到来后，对汽车影响*重要的两个部分可能就是自动驾驶和车联网（V2X）领域，分别对应的是智能网联汽车的智能化部分和网联化部分。自动驾驶技术将进一步推动MEMS传感器进入汽车。虽然GPS接收器可以计算自身位置和速度，但在GPS信号较差的地方（地下车库、隧道）和信号受到干扰的时候，汽车的导航会受到影响，这对自动驾驶来说是致命的缺陷。利用MEMS陀螺仪和加速度计获取速度和位置（角速度和角位置），车辆的任何细微动作和倾斜姿态都会被转化为数字信号，通过总线，传递给行车电脑。即便在*快的车速状态下，MEMS的精度和反应速度也能够适应。新兴的汽车主动安全技术需要改进现有的主动安全系统，比如侧翻（Rollover）与稳定性控制（ESC），这就需要MEMS加速度传感器和角速度传感器来感测车身姿态；语音将成为人与智能汽车的重要交互方式，MEMS麦克风将迎来发展新机遇；此外，MEMS传感器在汽车领域还有很多应用，包括安全气囊（应用于正面防撞气囊的高g值加速度计和用于侧面气囊的压力传感器）、汽车发动机（应用于检测进气量的进气歧管*压力传感器和流量传感器）等。
未来实现完全自动驾驶（L5），需要配备的核心传感器主要包括激光雷达（LiDAR）、雷达（RADAR）、摄像头（Camera）、惯性测量单元（IMU）和车路协同系统（V2X）。随着自动驾驶技术的发展，多传感器融合技术将成为关键，并且随着自动驾驶渗透率逐步提升，以及自动驾驶冗余度和容错性的特性，预计传感器的需求将呈指数级增长，在此过程中MEMS传感器当仁不让。
除了5G和智能网联汽车，今后MEMS的应用领域将逐渐扩大。未来20年，智慧城市、智慧家庭、智能制造、智慧医疗等物联网的重要应用领域将迎来快速发展，MEMS传感器市场将呈井喷式增长。MEMS传感器将在未来的智能物联网时代中起到核心作用，不仅实现多种传感器的融合、AI与MEMS的融合，并且随着传感器新设计、新工艺、新材料、新的集成方法、新的封装技术、传感器融合和新检测原理的助推，MEMS传感器将能够模仿甚至增强人类大部分感知——视觉、听觉、触觉、嗅觉，乃至情感、心灵感应以及美学欣赏的程度。
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