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技术指标

真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5Pa
离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7A
测量误差： <10%
测量分辨率： 10-5pa
高压输出：脉冲30kV  15kHz
允许环境温度： -20℃～50℃
空气湿度： ≤80%RH
电源： AC，220V，50Hz±10%