auto seAuto SE相调制椭圆偏振光谱仪：
概要
特征
薄膜分析变得轻松简单
高性能系统
的光斑可视系统(技术)
多种附件选择
 
技术参数：
光谱范围：440-858nm

光斑尺寸： 500 μm x 750 μm; 500 μm x 500 μm; 250 μm x 500 μm; 250 μm x 250 μm; 70 μm x 250 μm; 100 μm x 100 μm; 50 μm x 60 μm; 25 μm x 60 μm

测试时间：通常为5秒，快可小于1秒
 
度：NIST 1000 ? SiO2 /Si: d ± 4 ? - n(632.8 nm) ± 0.002， Fused silica: n ± 0.004

观测样品： CCD-视场范围1.33*1mm，分辨率1μm

重复性：± 0.2 ?  (测试条件 NIST 150 ? SiO2 /Si )

样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节；真空检测；Z轴高度50mm

探测器：CCD-分辨率：2nm

测角仪：固定在70度，可预设为66度或者61.5度