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Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜
价格
电议
型号
Sonoscan AW系列
品牌
Sonoscan
所在地
北京市 海淀区
更新时间
2024-11-08 11:01:03
浏览次数
次
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产品简介
�� w�� Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜是为晶圆检测而设计全自动系统。
产品描述
Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜
AW系列产品是为晶圆检测而设计全自动系统。高灵敏度和高产能的优势可用于多种键合的晶圆的评估,如SOI,MEMS,LED,2.5D和3D。该AW系列可以检测两晶圆间空隙直径只有5微米以及晶圆分层薄至200埃的间隙。具有两个或更多的扫描头,分段站和干燥站时,AW被设计为有效地扫描晶圆并同时进行干燥。
AW 系列-AW200 & AW300
特色:
与SECS-II/GEM/SEMI300毫米标准兼容
非浸水瀑布式探头
*的图像分析软件
高精度机器手可以提高产能
用于FOUPs,SMIF Pod,FOSB及开放式晶圆盒的BOLTS标准装载接口
自供水及真空组件的选项
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