在线膜厚监控系统

价格
电议

型号
R&D-TFM

品牌

所在地
广东省 深圳市

更新时间
2019-02-04 10:50:02

浏览次数

    Opsensing与R&D公司共同开发了提供不同行业的R&D-TFM光谱仪及标准软件。可用范围包含了UV可见光及红外线光谱范围(200~2000nm),有多种形态的测试,在此软件下执行包含了:

    • 膜厚测试:以Fourier algorithm 量测
    • Fitting routines 曲线逼近方式,薄膜量测
    • 颜色分析:可见光光谱仪
    • 峰值寻找module
    • 多层膜厚FIT测试
    • 可见光平均穿透率检测
    • 量测厚度可由50nm-2000um  (使用不同光谱波长),规格如下:

     

     

    No.

    Version

    ThicknessRange

    Accuracy

    Resolution

    1.0

    VIS(0.1-30)

    0.1-30 μm

    0.01 μm(0.1-1 μm range)

    0.04 μm(1-30 μm range)

    0.002(0.1-1 μm range)

    0.008(1-30 μm range)

    1.1

    VIS(4-120)

    4-120 μm

    0.15 μm

    0.03 μm

    1.2

    VIS(40-1200)

    40-1200 μm

    1.0 μm

    0.2 μm

    1.3

    NIR (1-30)

    1-30 μm

    0.05 μm

    0.01 μm

    1.4

    NIR (4-120)

    4-120 μm

    0.2 μm

    0.04 μm

     

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