CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000
气体质量流量计
（用于氢气和氦气）
CMS系列高可靠性气体质量流量计，使用了山武公司新近开发的微流量传感器，这种传感器是感热式流量传感单元。
小型结构、高精度传感器、高密度集成电路设计技术的结合使这种仪表具有精度高、量程比大，且成本低的优点。