价格
￥6,521.00
型号
MS600A
品牌
ULVAC爱发科
所在地
暂无
更新时间
2025-03-06 14:00:09
浏览次数
次
原装进口ULVAC爱发科MS600A螺杆型干泵
原装进口ULVAC爱发科MS600A螺杆型干泵
MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
用途
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
规格
| 型式 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| *排气速度 *1 | m3/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 到达压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源电压 | 200V 等级：3相， 50/60Hz， AC200-240V±10% 或 400V 等级：3相， 50/60Hz， AC380-480V±10% | |||
| 消费电力概略值 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
| *水蒸气处理量 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | 分贝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 吸气口 | KF50（卧式） / VG50（立式） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | 肯氟烃40 | |||
| 质量 *4 | 病历 | 139 | 241 | 264 |
| 适用规格 | CE、cTUVus | |||
| 标准附属品 | 快速手册， 电源连接器， 防水电缆夹， 遥控连接器， 电源连接器防护罩， 消音器 | |||
| 本体选配件 |
电源：200V 级或 400V 级 密封材料：FKM 或 FFKM |
|||
| 外部选配件 | Packege 排气口、抗震支架、LR 兼容单元（入口、远程）、吹扫气体阀 | |||
*3:吹扫气体使用时的*水蒸气处理量
*4:包括消音器
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原装进口ULVAC爱发科MS600A螺杆型干泵
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