晶圆非接触搬运卡盘特点：

  
（使用角度为固定角度，使用角度的变更必须改变主体部） 
由于导向制动器具有平缓的锥度，所以在点上接触晶片边缘。 
使用防静电聚碳酸酯的导向环，可以通过目视确认定位和吸引状态。 
通过采用本体部导电性尼龙树脂实现了轻量化。 
两面都有图案印刷，并且能对应50µm的薄处理难的晶片。 
角型等对象物合起的特别订购设计品也对应。