高温质量流量控制器，可用于流量控制为 120°C、断电时* 150°C 的环境。

通过将高温气体接触部分与热敏基板部分分离，可以控制高温下的气体。

块体采用 SUS-316L，密封材料采用 Au 处理腐蚀性气体。

此外，还可以选择防止液化气体再液化的低压差规格和加热气体部件的 MFC 加热块。

高温质量流量控制器 [MC-3000L-TC] 产品图片高温质量流量控制器
[MC-3000L-TC]

长处

  • 工作温度：* 120°C
  • 金属密封件
  • 清洁（保证颗粒）
  • RS-485 通信

选择

  • 与液化气兼容
  • 加热块

使用示例

液化气、升华气体流量控制

CVD 和 ALD 源气体不一定是室温和压力下的气体。 液体或固体原料通常在室温和压力下使用。 液体和固体在室温下产生的气体较少，并且使用压差流动气体的 MFC 难以控制流速。 因此，原料罐被加热并增加蒸汽压以产生压差，以确保 MFC 的工作压力。 MC-3000L-TC 能够进行高温控制和低压差工作压力，是液化和升华气体流量控制的理想选择。

规格表

温度 *小压差 *压差 精度 控制范围 *低 F.S. 马克斯 FS 密封
低 80~100°C 50kPa
 300kPa ±1%F.S. 2~*满量程 10单片机CM 25SLM 金
高 100~120°C
50kPa
 300kPa ±1%F.S. 2~*满量程 10单片机CM 25SLM 金

* 规格表是具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过 options 进行更改。