HORIBA 为半导体制造工艺、研发、质量控制以及从纯水到废水的公用事业中的干法、湿法和光刻工艺提供广泛的产品。我们将根据多年经验积累的分析、测量和控制技术提供解决方案。
数字质量流量控制器
它是适用于各种行业和应用的通用型数字质量流量控制器,具有从 10 SCCM 到 1000 SLM 的宽流量控制范围,并且可以从数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link® 中选择通信方式、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。具有±1.0% SP的高精度,全量程1秒内快速响应,多量程/多气体功能。
业务部门:半导体
产品类别:流体控制
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