产品用途
复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理,利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统,具有启动时间快、真空度高操作方便等特点,广泛应用于真空测试技术、表面分析加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等。
技术参数
型号
KT-110F
KT-150YCF
控制方式
手动控制
手动人机界面控制
前级泵
双极4旋片真空泵
前级泵抽气速率
2.2 L/S(对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵)
前级泵极限压强
≤ 5 Pa
分子泵
F-100/110,43000转/分
FF-100/150,51000转/分
分子泵抽气速率
100 L/S
140 L/S
分子泵启动时间
≤3 min
≤2 min
空载极限压强
≤1 X 10-4 Pa
≤1X10-4 Pa
真空测量范围
电阻单元1E +5到1E-1 Pa
电离单元5到1E-5Pa
冷阴极标准规管1E+2到1E-5 Pa
抽气接口
KF25
阀门类型
KF25手动挡板阀
系统电源
AC 220V
系统功率
1.5 KW
环境温度
5~32 ℃
冷却方式
强制风冷却
湿度
≤80%
噪音
<60分贝
外形尺寸
430×500×650mm
330×495×550mm
重量
65 kg
55 kg
随机配件:KF25高真空挡板阀×1个,K25卡箍×3个,KF25-1.5米不锈钢波纹管×1根说明书×1本,电源线×1根
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产品用途
复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理,利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统,具有启动时间快、真空度高操作方便等特点,广泛应用于真空测试技术、表面分析加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等。
技术参数
型号
KT-110F
KT-150YCF
控制方式
手动控制
手动人机界面控制
前级泵
双极4旋片真空泵
双极4旋片真空泵
前级泵抽气速率
2.2 L/S(对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵)
前级泵极限压强
≤ 5 Pa
分子泵
F-100/110,43000转/分
FF-100/150,51000转/分
分子泵抽气速率
100 L/S
140 L/S
分子泵启动时间
≤3 min
≤2 min
空载极限压强
≤1 X 10-4 Pa
≤1X10-4 Pa
真空测量范围
电阻单元1E +5到1E-1 Pa
电离单元5到1E-5Pa
冷阴极标准规管1E+2到1E-5 Pa
抽气接口
KF25
KF25
阀门类型
KF25手动挡板阀
KF25手动挡板阀
系统电源
AC 220V
AC 220V
系统功率
1.5 KW
1.5 KW
环境温度
5~32 ℃
5~32 ℃
冷却方式
强制风冷却
强制风冷却
湿度
≤80%
≤80%
噪音
<60分贝
<60分贝
外形尺寸
430×500×650mm
330×495×550mm
重量
65 kg
55 kg
随机配件:KF25高真空挡板阀×1个,K25卡箍×3个,KF25-1.5米不锈钢波纹管×1根说明书×1本,电源线×1根