控制方式

7寸人机界面手动自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒，5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

*功率

≤1200 W

*输出电压电流

电压≤12 V，电流≤120 A

真空度

机械泵≤5 Pa(5分钟)，分子泵≤10^-3 Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体 Φ160 mmx160 mm

样品台

可旋转Φ62 mm，(*可安装Φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140 mm

蒸发温度调节

≤1800 ℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝篮、带坩埚钨丝篮、钨舟、炭绳

预留真空接口

KF25抽气口，KF16真空计接口，KF16放气口，6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空5分钟<5 Pa)

数显真空计(测量范围大气压到0.1 Pa)

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10^-3 Pa)