产品背景

激光干涉测量使用光的波长作为测量单位的基本原理在19世纪80代左右开始提出。从那以后起，这一原理虽然历经发展和完善，但始终以测量光波干涉为依据，因此得名“干涉测量”。详询李工（vx）

激光系统射出的光波具有三种主要特性：

• 已知波长，可实现准确测量

• 波长非常短，可实现或高分辨率测量

• 所有光波相位相同，可根据已知的基准进行测量

  干涉测量是一种相对运动测量（从初始位置开始测量），而不是一种*测量（从特定位置开始测量）。不同的光学镜组将激光光束穿过不同的路径，可从单个激光装置进行多种模式测量（例如，线性、角度、直线度）。

环境补偿，无论您的激光装置多么准确和稳定，激光的测量波长都会因其传播环境而改变。气温、气压和相对湿度的任何变化都将导致测量误差。

若没有可靠准确的波长补偿，即使在典型的环境条件下，也常常会出现20 ppm（百万分）的线性测量误差。通过应用的环境补偿，可将这些误差降至±0.5 ppm。详询李工（vx）

产品介绍

雷尼绍XL-80激光干涉仪，可用于：

1.机床与坐标测量机(CMM)

按照国际标准验证机床和坐标测量机的精品工具

2.研发与计量

供校准和研究实验室使用的可溯源性测量

运动系统

3.动态性能，支持高速、高分辨率应用

关键指标
±0.5 ppm	线性测量精度已在整个环境工作条件范围内得到 (±0.5µm/m)
1 nm	线性分辨率（即使在*速度下）
4 m/s	*移动速度
6分钟	激光预热时间
50 kHz	动态采集率
80 m	线性测量距离为标准设定
3年	激光标准保修期（可延长至5年）

校准是过程控制的基础

现代工业需要满足日益严格的公差、客户计划以及国际质量标准的要求。与此同时，还要承受降低成本的压力，因此生产设备的工作性能受到前所未有的重视。测量和校准设备可提供帮助...

产品益处

给设备用户带来的好处 

1.提高产量

2.符合ISO9000系列标准

3.从竞争对手那里赢得高精度加工合同  

4.通过识别自身的误差来源延长机器使用寿命

5.对机器性能进行分级，为每一项作业选择*机器

6.通过监测磨损情况，计划并*限度减少机器停机时间

给设备制造商带来的好处 

1.证明符合规范

2.改进机器设计

3.提供*的维护服务

4.建造精度更高的机器

5.减少机器制造周期时间

6.在制造过程中对机器进行测试和诊断

应用范畴

1.线性测量

线性设置可沿轴测量位置精度该设置通过比较机器控制器上显示的运动与激光系统测量的运动，来测量轴的线性定位精度。该设置提供的精度达±0.5 ppm（百万分），分辨率达1纳米。轴的重复性可通过多次测试进行测量。在线性测量过程中，激光系统会测量参考位置沿测量光路到光学反射镜之间相对距离的变化。可以移动其中一个光学组件，另一个光学组件保持静止不动。40 m - 80 m范围内的应用可使用长距离线性组件。

2.角度测量

角度设置可沿轴测量俯仰和扭摆误差，俯仰和扭摆角度误差是造成机床和坐标测量机位置误差的两个主要因素。即使是主轴的一个小误差，都可能对刀尖造成重大影响。这一设置可以测量高达±10°的角度偏移，分辨率为0.01角秒。通过监测角度反射镜的移动产生的光路变化进行角度测量。角度干涉镜*安装在机器上的某个固定位置。然后将角度反射镜安装在机器的移动部件上。详询于工（vx）

3.直线度测量

直线度设置可测量与移动轴垂直平面内的误差直线度测量结果记录了垂直于轴运动的水平和垂直平面内的误差。直线度误差会直接影响机器的位置精度及轮廓精度。这可能是因为导轨磨损、事故或机器地基不牢造成的。通过监测直线度反射镜或直线度分光镜（Wollaston棱镜）的横向位移产生的光路变化进行直线度测量。可提供测量较短的轴 (0.1 – 4 m) 和较长的轴 (1 – 30 m) 的组件。结合两个直线度测量结果可评估独立轴的平行度。可提供用于测量垂直轴直线度的附件。

• 直线度光闸

• 大角锥反射镜

• 直线度基板

• 激光准直辅助镜

• 固定转向镜

• 可调式转向镜

4.回转轴测量

XR20-W回转轴校准装置和XL-80激光系统可测量回转轴的位置精度该回转设置可通过比较机器控制器上显示的运动和硬件测量的运动，来测量回转轴的位置精度。该设置采用了XL-80激光 系统、XR20-W回转轴校准装置和角度干涉镜。XR20-W配备一个紧凑轻巧的无线设备，可在±1角秒的精度范围内采集回转位置数据。XR20-W在设计上易于使用、数据采集速度迄今为止*快且无需操作人员干预。它提供可溯源的测量结果，可利用RotaryXL软件包按照国际标准出具报告。“摆动轴转台测量软件”能够在很难将XR20-W安装到机床回转轴中心点的机床配置中使用该系统。详询李工（vx）

5.平面度测量

该平面度设置可测量坐标测量机台面以及各种平板的表面形状平面度测量对表面的形状进行分析。这可用于创建三维图并记录与理想平面的偏差。如果这些误差对应用的影响很大，那么可能需要进行抛光等修正工作。平面度测量组件包含两个平面度镜和三个适合不同平面尺寸的基板。平面度镜不仅可以水平旋转，还可以垂直调整倾斜。这可以实现对激光光束的水平和垂直调整。另外，平面度测量还需要使用角度测量光学镜组。

执行平面度测量的两种标准方法均由激光软件支持：

• 对角线（莫氏）法 — 仅限在八条预定义的直线上进行测量。

• 网格法 — 任何数量的直线均可在整个平面的两个正交方向上进行测量。

6.垂直度测量

该垂直度设置可测量两条标称垂直坐标轴的垂直度轴之间需要相互垂直并在整个轴长度保持准确。垂直度误差将直接影响机器生产的工件的定位精度。这些误差可能是因为机器地基移动或龙门机器参考点位置传感器安装失调所致。通过使用一个经过校准的光学角尺并结合两个直线度测量结果，可以计算两轴之间的垂直度。要完成垂直轴的垂直度测量，需要使用前面提到的用于测量垂直方向直线度的附件。根据应用的配置，可能还需要其他安装附件。您当地的雷尼绍办事处可为您提供*个性化解决方案的建议。详询李工（vx）