(1) 型号代码 选项: A21 for 不带显示器的质量流量计 A22 for 有控制阀的质量流量控制器 A23 for 带显示屏的质量流量计 A24 for 有显示和控制阀的质量流量控制器
(2) 量程代码 选项: 00 for 0-10 SCCM 01 for 0-20 SCCM 02 for 0-50 SCCM 03 for 0-100 SCCM 04 for 0-200 SCCM 05 for 0-500 SCCM 06 for 0-1 SLM 07 for 0-2 SLM 08 for 0-5 SLM 09 for 0-10 SLM 10 for 0-15 SLM 11 for 0-20 SLM 12 for 0-25 SLM 13 for 0-30 SLM 14 for 0-35 SLM 15 for 0-40 SLM 16 for 0-45 SLM 17 for 0-50 SLM 18 for 0-55 SLM 19 for 0-60 SLM 20 for 0-65 SLM 21 for 0-70 SLM 22 for 0-75 SLM 23 for 0-100 SLM
(3) 可选316不锈钢阀体 选项: 无(选项为空白) for 标准体材料 -SS for 可选316不锈钢阀体
(4) 型号代码 选项: 无(选项为空白) for 在20 psig的标准模型的氮气或空气 (**) for 进气口/出口压力温度
热式气体质量流量计-OMEGA原厂直销产品描述
FMA-A2000系列电子质量流量计/控制器性能出众、 功能多样、设计*、外形紧凑。FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。无需进行温度、压力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配备LCD显示屏,并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表,请参阅下一页的量程表。 FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。
OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。
OMEGA FMA系列质量流量计
规格:
精度: 满量程的±1%(包括线性度)
重复性: 满量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
响应时间: 5秒
气体环境温度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数: 每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数: 每psi为满量程的0.01%或更佳
*低压力要求:
流量计: 1英寸水柱
*流速为1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
质量流量控制器的压差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(标准)
>5 LPM,20 ~ 40 psi(标准)
气体*压力:
聚甲醛: 250 psig
316不锈钢: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件:
标配: 聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配: 316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口: ¼ FNPT(标配);
¼"压合接头(适用于所有不锈钢型号流量计)
输入/输出连接口: 9针sub-D连接器
控制信号: 0 ~ 5 Vdc
控制阀: 常闭电磁阀
输出信号: 线性0 ~ 5 Vdc(*小负载1000 Ω),4 ~ 20 mA(环路电阻500 Ω)
安装螺纹:
316不锈钢壳体: 6⁄32"螺纹
聚甲醛材料: #4/6自攻螺丝
输入电源:
流量计: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
外形尺寸: 参见图纸
重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含电源)
选型说明:
(1) 型号代码 选项:
A21 for 不带显示器的质量流量计
A22 for 有控制阀的质量流量控制器
A23 for 带显示屏的质量流量计
A24 for 有显示和控制阀的质量流量控制器
(2) 量程代码 选项:
00 for 0-10 SCCM
01 for 0-20 SCCM
02 for 0-50 SCCM
03 for 0-100 SCCM
04 for 0-200 SCCM
05 for 0-500 SCCM
06 for 0-1 SLM
07 for 0-2 SLM
08 for 0-5 SLM
09 for 0-10 SLM
10 for 0-15 SLM
11 for 0-20 SLM
12 for 0-25 SLM
13 for 0-30 SLM
14 for 0-35 SLM
15 for 0-40 SLM
16 for 0-45 SLM
17 for 0-50 SLM
18 for 0-55 SLM
19 for 0-60 SLM
20 for 0-65 SLM
21 for 0-70 SLM
22 for 0-75 SLM
23 for 0-100 SLM
(3) 可选316不锈钢阀体 选项:
无(选项为空白) for 标准体材料
-SS for 可选316不锈钢阀体
(4) 型号代码 选项:
无(选项为空白) for 在20 psig的标准模型的氮气或空气
(**) for 进气口/出口压力温度