这是新系列的传感器式真空计“G-TRAN系列多离子真空计”，可以连接不同测量范围的探头。本产品为BA型电离真空计，可测量高真空。在继承了宽范围压力测量和低运行成本的传统理念的同时，我们进行了改进，使其更加人性化。

特征

可连接不同测量范围的探头：多离子计允许根据应用选择探头。

紧凑：明显小于传统产品（控制器体积减少 56%），世界*小级别

提高可用性：可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等

产品阵容丰富：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。

灯丝寿命通知功能：通过监控灯丝功率，可以提前通知灯丝寿命。

压力测量范围广：可测量从大气压到高真空区域（1×10 +5～ 5×10 -8 Pa）（连接选购件SWU10-R时）

的大气压力测量：可以检查腔室开口的大气压力（当连接可选单元 SAU 时）

目的

用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制。

用于检查直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力。

用于高真空和高真空设备中的压力测量